一.生产设备之选择、布置与保养：
1.要选用发尘性较少的生产设备及相关设备，尤其须注意活动部分之发尘。 2.应选择尘埃之影响较小的生产设备或接口设备。 3.生产用之水、气体、药品等往往是造成污染的原因，故应配备过滤装置。 4.规划各设备之配置空间时，事先宜考虑不易积累微尘之结构，万级洁净室，规划各并以容易清洁为原则。
自动化与无尘化：
1.设立自动化传送系统，洁净室防尘，可减少人员方面所带来的污染，唯费用相当昂贵，须详加评估。
2.建立管制项目如进入无尘室人员的资格限定，无尘室作业人员作业规则，无尘室管理规则等
导电性材料如碳纤维、镍或铝纤维，可以制成洁净室用织物，控制静电作用，这是半导体元件和微型芯片生产中所要求的。在具有燃烧可能性的环境中还能防止产生火花。以导电材料为芯的双组分纤维织成的织物具有抗静电性能。一般说来，洁净室服装的面料应该是本身具有阻燃性能，宁德洁净室，这类服装的防化性能也是必不可少的。
制作洁净室所用的服装时，凡是松散的布边、洞眼、裂缝以及其它能使颗粒从穿着者或服装上散逸到空气中的途径都应该杜绝。裁剪边缘应该先进行拷边，或熔烧光洁再翻折进去，制药洁净室，然后用锁式针迹缝缀或滚边密封。一些容易积集尘埃颗粒的处所，如口袋、带子、褶裥、折叠领或裤子翻边、饰标、边印和笔袋等应该避免，领口和领子边缘应先包缝后再缝合上。这类服装常用低度变形长丝缝纫线缝制。有些公司采用超声波粘合法缝合，从根本上消除从针眼中透过污染物。
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