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(一)洁净室的分类及其要求的服装类型

(美国)环境保护科学学会(1ES)推荐用于洁净室的服装有多种类型,等级的编号数字愈小,则环境洁净程度愈高。

 (1)等级100000洁净室通常要求用帽子或头巾将头发全部包起来、胡须不外露、穿着连衫裤或拉链式罩袍、戴靴罩和手套。100000代表1立方英尺空气中,1.0μm及以上的尘埃粒数。等级数大于100000的场所,无尘车间,通常不能认为是洁净室。

 (2)等级10000洁净室要求在等级100000的基础上把帽子改为帽罩。

 (3)等级1000洁净室要求把拉链罩袍改为封闭连衫裤。

 (4)等级100环境要带面罩。

 (5)等级10环境必须把脸部全部隔离起来。

 


复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,福州无尘车间 净化,可提供局部超洁净之空气。

 洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。

  此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。

  洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。

  


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