复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，福州药品无尘车间，可节省安装运转费用。
此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，福州无尘车间 净化，以避免机器维修时影响了工作及品质，福州无尘车间 厂家，ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。
一.生产设备之选择、布置与保养：
1.要选用发尘性较少的生产设备及相关设备，尤其须注意活动部分之发尘。
2.应选择尘埃之影响较小的生产设备或接口设备。
3.生产用之水、气体、药品等往往是造成污染的原因，故应配备过滤装置。
4.规划各设备之配置空间时，事先宜考虑不易积累微尘之结构，规划各并以容易清洁为原则。
5.真空泵等容易产生污染物的这类设备，应设置在无尘室外面或回风区，并加装排气管线排气。
6.设置给水管线、气体管线和电气系统时，其构造须考虑到容易清洁，不易积累污染物。
7.生产及相关设备应定期清扫，以避免微尘之堆积。
8.应加强注意室内的温湿度控制，无尘车间，避免因湿度之不当造成结露生锈。
9.当设备维修时易产生微尘粒子，故维修时尽量于清洁室外进行，并加隔离栅隔离。
10.对于施工或维修之厂商，应告知进出无尘室之各项规定，且负责工程师应随侍在侧监工。
11.应有无尘室专用工具组，但不得带出无尘室外使用。
12.规划空间时若能临近无尘室设立一间维修和设备保养手册置放室，将是一理想之规划。
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