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一.生产设备之选择、布置与保养: 

1.要选用发尘性较少的生产设备及相关设备,尤其须注意活动部分之发尘。 

 2.应选择尘埃之影响较小的生产设备或接口设备。  

3.生产用之水、气体、药品等往往是造成污染的原因,故应配备过滤装置。  

4.规划各设备之配置空间时,事先宜考虑不易积累微尘之结构,福州实验室厂家,规划各并以容易清洁为原则。  

5.真空泵等容易产生污染物的这类设备,应设置在无尘室外面或回风区,福州实验室建设,并加装排气管线排气。  

6.设置给水管线、气体管线和电气系统时,其构造须考虑到容易清洁,不易积累污染物。  

7.生产及相关设备应定期清扫,以避免微尘之堆积。 

 8.应加强注意室内的温湿度控制,避免因湿度之不当造成结露生锈。 

 9.当设备维修时易产生微尘粒子,福州实验室,故维修时尽量于清洁室外进行,并加隔离栅隔离。 

 10.对于施工或维修之厂商,应告知进出无尘室之各项规定,且负责工程师应随侍在侧监工。 

 11.应有无尘室专用工具组,但不得带出无尘室外使用。  

12.规划空间时若能临近无尘室设立一间维修和设备保养手册置放室,福州实验室工程,将是一理想之规划。


重新评审已有的行业标准和监管标准 主要针对流量和换气量。关键问题是:标准要求端末HEPA过滤器以90FPM的速度运行或进行测试是毫无技术支持的,甚至有害。因为室内平均流速太高会造成紊流并形成涡流,所以在半导体行业中的ISO1级或2级洁净室基本都使用75FPM的流速。使洁净室或过滤器流速保持在90FPM不仅会引起严重的紊流,还会使污染物扬起、散布在整个清洁室中的可能性提高。
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