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室内的空气净化系统可分为水平层流、垂直层流和乱流。选择气流形式一则参照惯例,二则取决于房间的工作参数。系统     室内的空气净化系统可分为水平层流、垂直层流和乱流。选择气流形式一则参照惯例,二则取决于房间的工作参数。洁净度与换气次数      房间的洁净度取决于单位时间的换气次数,福州洁净室,因此慎密考虑房间的工作性质、以及生产工艺要求,福州洁净室设备,再决定净化系统的技术参数。

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。

 洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上,福州洁净室厂,可节省安装运转费用。

  此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。

  洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。

  


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