复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，福州洁净室，可节省安装运转费用。
此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，福州洁净室安装，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。
延长过滤器寿命 从多方面来讲，延长过滤器的寿命都是人们考虑的重点。静电充电是现在过滤器媒质使用的一种技术，它可以提高微粒过滤器的容量和寿命。它的优势在于可以在特定的产品中在HEPA过滤器上进行静电充电，通过一些显著的、可以统计数量的办法来降低成本、增强性能，而过滤器厂商除了增强性能成本之外还需要提供关于实际运行成本的数据。目前市场上有许多静电过滤器系统，它们采用栅格而不是直接拦截的办法通过过滤器媒质来捕获空气微粒，福州洁净室哪家好，但在洁净室行业中，福州洁净室公司，由于开放栅格技术的缘故，它们主要还只是作预过滤器系统使用。还可以使用更加有效的空气预过滤技术来充分发挥它的作用，这既不会增加空气静压，也不会增加电费支出，也就是说静电作用不会显著增加电费上的开支。
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