复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，福建洁净室，可节省安装运转费用。
此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，福建洁净室施工，以避免机器维修时影响了工作及品质，福建洁净室厂家，ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。
换气次数无尘车间维持一定的空气流量来保持清洁度和颗粒数。流量根据每小时的换气次数来确定，同时这也决定了风机尺寸、建筑构型和能量消耗。在保持洁净度的前提条件下，空气流速的降低可以降低建造及能耗成本。换气次数降低20%就可以使风机的尺寸降低50%。空气洁净度比节约能耗更重要，但是的研究成果已经有降低洁净成本的记载了。
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