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小型化趋势 随着进入纳米技术生产阶段，洁净室，生产空间和生产设备的尺寸越做越小，需要保持清洁的空间也更小更干净。故可通过各种方法来增加灵活性和节约成本。 许多公司一方面希望得到更有效的洁净室，另一方面也在积极寻找通过降低功耗来削减运行成本的方法。而正确设计空气流动、减少清洁区域需要的清洁空气总量，是降低最初成本和运行成本的有效方法。随着HEPA和ULPA的过滤效率不断提高，用户对过滤效率的要求却在下降。现如今的用户更注重分析在洁净室中不同区域内实际需要的过滤水平。一个重要的趋势就是不再使用大空间洁净，取而代之的是在工厂中设置清洁区域，保证洁净区域内保持空气质量达到优良水平。使用这种方法降低了需要过滤的空气总量，福州万级洁净室，也就降低了运行成本。

一.生产设备之选择、布置与保养：

1.要选用发尘性较少的生产设备及相关设备，尤其须注意活动部分之发尘。 2.应选择尘埃之影响较小的生产设备或接口设备。 3.生产用之水、气体、药品等往往是造成污染的原因，故应配备过滤装置。 4.规划各设备之配置空间时，事先宜考虑不易积累微尘之结构，规划各并以容易清洁为原则。

自动化与无尘化：  

1.设立自动化传送系统，可减少人员方面所带来的污染，唯费用相当昂贵，福州洁净室设计，须详加评估。  

2.建立管制项目如进入无尘室人员的资格限定，无尘室作业人员作业规则，无尘室管理规则等

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