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 耐电压电气强度测试历时1min，经受频率为50Hz的基本正弦波的交流电压，测试的部位为电源输入端与金属外壳之间。最初施加的电压不超过规定值的一半，然后迅速上升到规定值，试验期间不应发生击穿。所耐电压应符合规定。绝缘电阻在施加500V直流电压1min后进行绝缘电阻测量，洁净室，在带电部件与壳体之间值应符合规定　　 电子联锁应对风淋室两侧门的联锁功能进行检测行检测。a) 在风淋室未吹淋状态。任意打开吹淋室一侧的门，检查另一侧门是否不能打开。每一边的门应至少应重复检测三次;b) 当风淋室处于吹淋状态。检查两侧门是否均处于锁闭状态，至少试验三次;当风淋室断电或门的自锁功能失灵时，两侧门是否能手动开启，福州百级洁净室 ，至少试验三次。

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